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    行業新聞

    使用激光干涉儀
    發布時間:2022-07-05瀏覽次數:7

    使用激光干涉儀:

    1.直線度測量

    激光干涉儀的直線度測量有兩個鏡組從0到0測量。1m至4m測量長程從1m至30m。就短距離而言,距離是指直線干鏡和直線反射鏡之間的距離,即可以測試的軸長。從長遠來看,距離是激光頭和直線反射器之間的距離。在這兩種情況下,激光干涉儀的直線度測量范圍為±2.5mm。線性干涉鏡與反射鏡成對匹配。因此,元素不能與其它線性工具進行交換。每一個線性干涉鏡和反射鏡都標有獨立的序列號。

    ①沿水平軸直線度測量

    水平軸直線度檢測,在激光干涉儀的激光和直線度反射器之間安裝直線度干擾鏡。激光發射的光束將通過直線度干擾鏡。此時,光束將被分成兩個相同頻率的光源。兩束激光器通過直線度反射鏡反射到干擾鏡中,然后返回到激光器中。通過移動直線度反射器干擾兩個相同光源的光束。激光器將檢測干擾光波,以確定直線度干擾鏡移動方向的偏差。并記錄設備安裝和調試的偏差值。

    ②測量垂直軸線度

    垂直軸度檢測,引入垂直轉向鏡,將激光干涉儀的水平光束轉化為垂直光束,檢測原理與水平軸度檢測相同。

    2.線性測量

    激光干涉儀的線性測量可以檢測機床軸的多個精度指標,包括定位精度,重復定位精度,反向間隙等。線性測量鏡組包括兩個線性反射鏡和一個線性分光鏡。

    激光干涉儀應設置線性測量,將線性反射鏡與兩個緊固螺紋的分光鏡連接起來。這種組合元素被稱為線性測量?!熬€性干涉鏡”,可作為激光束的參考路徑。線性干涉鏡位于激光器和線性反射器之間的光束路徑上。激光束進入線性干涉鏡,然后分為兩個光束。一個光束(稱為參考光束)進入連接分裂鏡的反射器,第二個光束(測量光束)通過分裂鏡進入第二個反射器。射擊。兩個光束再次反射回分裂鏡并返回激光頭,其中一個探測器監測兩個光束之間的干擾。



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