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    雙頻激光干涉儀簡介
    發布時間:2022-07-12瀏覽次數:22



    隨著20世紀60年代初激光的出現,幾何量計量技術的發展步入了嶄新的時期。雙頻激光干涉儀正是利用激光具有頻率穩定、單色性好等優點,在幾何量計量領域發揮著越來越重要的作用。雙頻激光干涉儀具有精度高、應用范圍廣、環境適應能力強、實時動態測速高等一系列無可比擬的優勢,成為幾何量計量活動的生力軍。相比于傳統的單頻激光干涉儀,現代雙頻激光干涉儀具有更好的抗環境干擾能力,擺脫了計量室的束縛,在越來越廣闊的工程測量領域大顯身手。因此,雙頻激光干涉的發明對計量事業的發展乃至整個科學事業的發展有著舉足輕重的作用。

    雙頻激光干涉儀的發明把幾何量計量發展推向了又一個高峰,雙頻激光干涉儀是目前精度高、量程大的長度計量儀器,以其良好的性能、在很多場合,特別是在大長度與大位移的精密測量中得到廣泛應用。就長度計量而言,通常將200m以上的測量稱為距離測量(Distance Measurement),3m以下的稱為一般長度測量,3~200m之間的測量稱為大尺寸測量(Large Dimension Measurement)[1]。雙頻激光干涉儀在一般長度精密測量中都有使用。雙頻激光干涉儀可以在恒溫,恒濕,防震的計量室內檢定量塊,量桿,刻尺和坐標測量機等,也可以在普通車間內為大型機床的刻度進行標定,既可以對幾十米的大量程進行精密測量,也可以對手表零件等微小運動進行精密測量,既可以對幾何量如長度、角度.直線度、平行度、平面度、垂直度等進行測量,也可以用于特殊場合,諸如半導體裝備的微定位(雙頻激光干涉儀是光刻機不可或缺的關鍵測量系統)和計算機存儲器上記錄槽間距的測量等等。不僅在單純的長度計量領域,在其他工程技術領域,雙頻激光干涉儀的應用也越來越廣泛,不乏一些很有創見的應用。


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