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    雙頻激光干涉儀

    LH2000雙頻激光干涉儀

    產品描述:

    專為計量檢測用戶打造的高精度雙頻激光干涉儀
    性能卓越的高精度線性位移、長度檢測標定工具

    服務熱線:4008168900
    立即咨詢

        滿足計量檢測用戶更穩定、更高精度、更便利的使用要求;

        以光刻機用激光干涉測量系統為基礎,

        在保留高穩定性、高精度、高采樣速率卓越性能的同時,

        將光源和測量信號接收處理單元集成在主機里,

        一體化設計為用戶提供更加方便、易用、友好的使用體驗;

        典型頻差7±0.5 MHz,測速高達2m/s。

     系統組成:
         LH2000激光測頭及附件
         環境補償單元
         LaserLC測量軟件
         線性位移測量鏡組(選配:角度、直線度、垂直度、平面度測量鏡組等)
         光學調整附件
         三腳架及其他測量附件
     

    (欲了解更多單頻與雙頻干涉儀的性能特點和差異,請閱覽本網站解決方案欄目中的:雙頻激光干涉儀




    激光頭尺寸330mm×110mm×95mm
    激光頭重量3.3kg
    激光光束直徑6mm
    激光功率 >0.5mw
    真空波長632.99nm
    頻差可定制 典型值7±0.5 MHz
    工作溫度范圍+10℃~+30℃
    儲存溫度范圍+15℃~+45℃
    激光穩頻精度±0.02ppm
    線性測量范圍40m
    線性測量精度±0.1ppm(真空中)
    ±0.4ppm*(使用LC-2000環境補償器)
    分辨率1nm
    測量速度2m/s
    工作電源220V/50Hz



    懇請注意:因市場發展和產品開發的需要,本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。


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