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    雙頻激光干涉儀

    LH1000雙頻激光干涉儀

    產品描述:

    光刻機專用雙頻激光干涉儀
    可構建XY位移臺等多軸測量系統
    采用直接輸出線偏振光、大功率、大頻差雙頻激光器
    無圓偏振光轉線偏振光非線性誤差
    大功率可同時測量更多數量的軸向位移
    大頻差,測量速度更快

    服務熱線:4008168900
    立即咨詢

    專為光刻機配套開發的高精度測量系統;

    通過國家重大專項“極大規模集成電路制造技術及成套工藝”項目驗收。

    采用直接輸出線偏振光的雙頻激光器;

    非線性高精密測量系統,測量更精準;

    可提供1~20MHz頻差內任意頻差產品,滿足各種測量速度需要。

    光源和測量信號接收單元分體式設計,方便搭建XY位移臺等多軸測量系統;

    精巧的測量信號光纖接收頭,即使空間狹小也能方便安裝;

    標準光刻機干涉儀安裝尺寸和數據接口,可直接替換現有產品。



    型號

    頻差(MHz)

    最小出光功率(μW)

    光斑尺寸(mm)

    穩頻精度(ppm)

    LH1000A

    1.0±0.5

    >500

    6

    ±0.02

    LH1000B

    2.0±0.5

    > 500

    6

    ±0.02

    LH1000C

    3.0±0.5

    > 500

    3, 6, 9

    ±0.02

    LH1000D

    4.0±0.5

    >500

    6, 9

    ±0.02

    LH1000DL

    5.0±0.5

    > 500

    6, 9

    ±0.02

    LH1000EL

    6.0±0.5

    >500

    6

    ±0.02

    LH1000FL

    7.0±0.5

    >500

    6, 9

    ±0.02

    LH1000GL

    8.0±0.5

    > 500

    9

    ±0.02

    LH1000H

    9.0±0.5

    > 500

    3, 6, 9

    ±0.02

    LH1000I

    10.0-20.0(按需定制)

    > 500

    3, 6, 9

    ±0.02

    注:可根據需求定制更小頻差范圍。

    微信截圖_20210616121113.png

     


    懇請注意:因市場發展和產品開發的需要,本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

    LH1000雙頻激光干涉儀應用于尼康光刻機后,其工作臺精度由原來的23nm提高到6nm!

    圖片1.jpg


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